美國ALICAT 21系列標準型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)

● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程

● 響應時間快，優(yōu)于30 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質(zhì)量流量普通精度    ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度      ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性                    ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）

                               ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）

                               ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準壓力開始）

技術(shù)指標

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                 一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量    程       從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM

量程可控比（穩(wěn)態(tài)）    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

屏幕刷新頻率    10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差